制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究

Form:    Author:    Data: 2014-06-14
张军峰,陈强,刘福平,刘忠伟,
制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究,
真空科学与技术学报,29(2009)(增-10)72-75 (EI)