射频偏压对沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响

Form:    Author:    Data: 2014-06-14
桑利军,陈强,
射频偏压对沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响,
真空,46(2)(2009)38-41 (EI)