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氢等离子体辅助原子层沉积铜薄膜的研究

Form:    Author:    Data: 2015-12-08
国政,刘忠伟,桑利军,陈强,
氢等离子体辅助原子层沉积铜薄膜的研究,
第十七届全国等离子体科学技术会议,成都,2015.8.16-19(oral)
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