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氢等离子体辅助原子层沉积铜薄膜的研究

Form: Author: Data: 2015-12-08

国政，刘忠伟，桑利军，陈强，
氢等离子体辅助原子层沉积铜薄膜的研究,
第十七届全国等离子体科学技术会议，成都，2015.8.16-19(oral)
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