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大气压PECVD和低气压PECVD沉积氧化硅薄膜的抗腐蚀性研究

Form: Author: Data: 2015-12-08

杨海娇, 王国刚,高礼雄, 陈强，
大气压PECVD和低气压PECVD沉积氧化硅薄膜的抗腐蚀性研究，
第十七届全国等离子体科学技术会议，成都，2015.8.16-19(poster)