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磁控溅射镀层中微纳米针孔形成机制的研究

Form: Author: Data: 2015-12-08

李花，杨丽珍，陈强，
磁控溅射镀层中微纳米针孔形成机制的研究,
第十七届全国等离子体科学技术会议，成都，2015.8.16-19 (poster)