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等离子体辅助原子层沉积(PEALD)技术在太阳电池中的应用

Form: Author: Data: 2014-12-05

刘忠伟, 杨丽珍, 桑利军, 王正铎, 王东栋, 张春梅, 齐磊，董婉，赵元鑫，孔德霖, 赵元鑫，陈强，
等离子体辅助原子层沉积(PEALD)技术在太阳电池中的应用，
第二届工业等离子体技术及应用研讨会,上海，2014.09.28-30 (invited)