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微波表面波PECVD沉积DLC薄膜对PET材料阻隔性影响

Form: Author: Data: 2014-12-05

印莲花，杨丽珍，刘忠伟，陈强,
微波表面波PECVD沉积DLC薄膜对PET材料阻隔性影响，
第十届全国表面工程大会, 武汉，2014.10-25-28(poster)