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感应耦合化学气相沉积高速制备微晶硅薄膜

Form: Author: Data: 2014-08-20

陈玖香,王伟仲,程志贤,陈强,
感应耦合化学气相沉积高速制备微晶硅薄膜,
北京印刷学院学报,(2013)