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等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究

Form: Author: Data: 2014-08-21

桑利军，赵桥桥，胡朝丽，李兴存，雷雯雯，陈强，
等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究，
高电压技术第 38卷第7 期 2012年7 月 31日