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PECVD法沉积类金刚石薄膜的耐腐蚀性能研究

Form:    Author:    Data: 2014-08-21
雷雯雯, 陈 强,
PECVD法沉积类金刚石薄膜的耐腐蚀性能研究,
电气技术 2011年第10期