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脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构的摩擦性能的影响

Form: Author: Data: 2014-06-14

桑立军，陈强，
脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构的摩擦性能的影响，
核技术，32(6)(2009)427-430 (EI)