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制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究

Form: Author: Data: 2014-06-14

张军峰，陈强，刘福平，刘忠伟，
制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究，
真空科学与技术学报,29(2009)（增-10）72-75 (EI)