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等离子增强化学气相沉积制备氧化硅薄膜的质谱诊断研究

Form: Author: Data: 2014-06-14

张军峰，陈强，张跃飞，
等离子增强化学气相沉积制备氧化硅薄膜的质谱诊断研究，
核技术，32(3)(2009)237-240 (EI)