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射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究

Form: Author: Data: 2014-06-21

杨莉，陈强，
射频等离子体增强化学气相沉积类金刚石薄膜的结构及摩擦学性能研究，
第12届全国包装工程会议，珠海，2008.8（口头报告）
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