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等离子增强化学气相沉积制备无机氧化硅薄膜的在线诊断及薄膜特性研究

Form: Author: Data: 2014-06-21

张军峰，陈强，张跃飞，
等离子增强化学气相沉积制备无机氧化硅薄膜的在线诊断及薄膜特性研究，
中国真空学会第六届三次理事会暨2008学术年会，云南，2008,10（口头报告）