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脉冲负偏压对ECR沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响

Form: Author: Data: 2014-06-21

桑利军，陈强，
脉冲负偏压对ECR沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响，
2008全国荷电粒子源、粒子束学术会议，哈尔滨，2008，9(口头报告)