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M-PECVD制备高阻隔薄膜研究

Form: Author: Data: 2014-06-21

孙运金，陈强，李朝阳，张跃飞,
M-PECVD制备高阻隔薄膜研究，
第十一届全国包装工程学术会议，2007.8，郑州
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