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PECVD法低温沉积高阻隔SiOx薄膜

Form: Author: Data: 2014-06-21

孙运金，桑利军，陈强，张军峰，张跃飞,
PECVD法低温沉积高阻隔SiOx薄膜，
第十三届全国等离子体科学与技术会议，2007年8月，四川成都
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