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纳米高阻隔氧化硅薄膜的制备

Form: Author: Data: 2014-06-21

孙运金，张军峰，陈强，付亚波，张跃飞,
纳米高阻隔氧化硅薄膜的制备，
第六届中国功能材料及其应用学术会议，2007，10，武汉