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纳米高阻隔氧化硅薄膜的制备

Form:    Author:    Data: 2014-06-21
孙运金,张军峰,陈强,付亚波,张跃飞,
纳米高阻隔氧化硅薄膜的制备,
第六届中国功能材料及其应用学术会议,2007,10,武汉