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PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦性能

Form: Author: Data: 2014-06-14

杨莉，陈强，张受业，
PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦性能，
真空科学与技术学报,29（2009)292-297 (EI)