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ICP辅助高功率脉冲磁控溅射制备高N掺杂ZnO薄膜

Form: Author: Data: 2015-12-08

张海涛，刘忠伟，陈强，
ICP辅助高功率脉冲磁控溅射制备高N掺杂ZnO薄膜，
第十七届全国等离子体科学技术会议，成都，2015.8.16-19 (oral)