微波表面波PECVD沉积DLC薄膜对PET材料阻隔性影响

Form:    Author:    Data: 2014-12-05
印莲花,杨丽珍,刘忠伟,陈强,
微波表面波PECVD沉积DLC薄膜对PET材料阻隔性影响,
第十届全国表面工程大会, 武汉,2014.10-25-28(poster)