等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究

Form:    Author:    Data: 2014-08-21
桑利军, 赵桥桥, 胡朝丽, 李兴存, 雷雯雯, 陈 强,
等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究,
高电压技术 第 38卷 第7 期 2012年7 月 31日