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制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究
Form:
Author:
Data:
2014-06-14
张军峰,陈强,刘福平,刘忠伟,
制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究,
真空科学与技术学报,29(2009)(增-10)72-75 (EI)