大气压PECVD和低气压PECVD沉积氧化硅薄膜的抗腐蚀性研究

Form:    Author:    Data: 2015-12-08
杨海娇, 王国刚,高礼雄, 陈强,
大气压PECVD和低气压PECVD沉积氧化硅薄膜的抗腐蚀性研究,
第十七届全国等离子体科学技术会议,成都,2015.8.16-19(poster)