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热原子层沉积与等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的比较

Form: Author: Data: 2014-12-05

赵元鑫，桑利军，刘忠伟，
热原子层沉积与等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的比较，
第十届全国表面工程大会, 武汉，2014.10-25-28(poster)