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PECVD法沉积类金刚石薄膜的耐腐蚀性能研究

Form: Author: Data: 2014-08-21

雷雯雯，陈强，
PECVD法沉积类金刚石薄膜的耐腐蚀性能研究，
电气技术 2011年第10期