脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构的摩擦性能的影响

Form:    Author:    Data: 2014-06-14
桑立军,陈强,
脉冲负偏压对沉积类金刚石薄膜结构的摩擦性能的影响,
核技术,32(6)(2009)427-430 (EI)