PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦性能

Form:    Author:    Data: 2014-06-14
杨莉,陈强,张受业,
PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦性能,
真空科学与技术学报,29(2009)292-297 (EI)