等离子增强化学气相沉积制备氧化硅薄膜的质谱诊断研究

Form:    Author:    Data: 2014-06-14
张军峰,陈强,张跃飞,
等离子增强化学气相沉积制备氧化硅薄膜的质谱诊断研究,
核技术,32(3)(2009)237-240 (EI)