制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究

Form:    Author:    Data: 2014-06-14
张军峰,陈强,张跃飞,
制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究,
真空,46(1)(2009)61-65 (EI)