脉冲负偏压对ECR沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响

Form:    Author:    Data: 2014-06-21
桑利军,陈强,
脉冲负偏压对ECR沉积类金刚石薄膜结构和性能的影响,
2008全国荷电粒子源、粒子束学术会议,哈尔滨,2008,9(口头报告)